应变管式
在筒壁上贴有2片或4片应变片,其中一半贴在实心部分作为温度补偿片,另一半作为测量应变片。当没有压力时4片应变片组成平衡的全桥式电路;当压力作用于内腔时,圆筒变形成“腰鼓形”,使电桥失去平衡,输出与压力成一定关系的电压。
这种传感器还可以利用活塞将被测压力转换为力传递到应变筒上或通过垂链形状的膜片传递被测压力。应变管式压力传感器的结构简单、制造方便、适用性强,在、和的动态压力测量方面有广泛应用。
膜片式
它的弹性敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时,处径向应变和切向应变均达到正的值,而边缘处径向应变达到负的值,切向应变为零。因此常把两个应变片分别贴在正负应变处,并接成相邻桥臂的半桥电路以获得较大灵敏度和温度补偿作用。
采用圆形箔式应变计(见电阻应变计)则能限度地利用膜片的应变效果。这种传感器的非线性较显著。膜片式压力传感器的产品是将弹性敏感元件和应变片的作用集于单晶硅膜片一身,即采用集成电路工艺在单晶硅膜片上扩散制作电阻条,并采用周边固定结构制成的固态压力传感器。
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